
硅基底金剛石膜
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基底:硅PET或者其他
厚度:0.5~2um
熱導率:1300~1800W/(m·K)
電阻:10^4~10^10Ω
(a)生長前后對比圖。生長后在 Si 基底形成致密金剛石薄膜(b)拉曼光譜顯示,整個金剛石薄膜晶體質量和均一性良好。
(c)金剛石光學顯微鏡圖片(d)金剛石薄膜表面 SEM 照片(e)截面 SEM 照片顯示測量的金剛石薄膜厚度約 2μm。
應用領域:柔性電子器件、芯片散熱、聲學換能器、量子信息等領域
jcnano@qq.com