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吉倉低溫CVD石墨烯生長系統(tǒng)

吉倉低溫石墨烯生長系統(tǒng)

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吉倉納米科技有限公司根據(jù)多年生長石墨烯膜的經驗研發(fā)出的低溫石墨烯生長系統(tǒng),可實現(xiàn)500~800℃低溫生長。吉倉納米可以提供石墨烯膜的生長培訓。
吉倉低溫石墨烯生長系統(tǒng)配有Plasma實現(xiàn)等離子增強,滑軌式設計在操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調裝置,可準確的控制反應腔體內部的氣體壓力,帶刻度的調節(jié)閥對于做低壓CVD非常簡單實用,工藝重復性好,對于石墨烯生長工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。

開啟式真空管式爐 JC-1200C-SL-PECVD
爐管尺寸:外徑φ100(可選)
加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
加熱區(qū)長度:440mm
恒溫區(qū)長度: 200mm(±1℃)
工作溫度:1100℃
最高溫度:1200℃
控溫方式:模糊PID控制和自整定調節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度:±1℃
升溫速度:20度/分鐘
爐門結構:開啟式
工作電源:AC220V /50HZ
額定功率:3KW
射頻電源
信號頻率 13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍 5W-500W
最大反射功率 200W
射頻輸出接口 50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度 ±0.1%
諧波分量 ≤-50dbc
供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
整機效率 >=70%
功率因素 >=90%
冷卻方式 強制風冷
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/

供氣系統(tǒng)(品牌: JCNO
GMF-3Z
連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。
標準量程(N2):50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar);
準確度:±1.5%
線性:±0.5~1.5%
重復精度:±0.2%
響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
最大壓力:3MPa
接口:Φ6,1/4''mm
顯示:液晶觸摸屏控制,無紙記錄。
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體            
內外雙拋衛(wèi)生級不銹鋼管:316L,Φ6mm
 
低真空機組(品牌: JCNOVAU-02
技術參數(shù):
空氣相對濕度≤85%,
工作電電壓:220V±10%  50~60HZ
功率:1千瓦
抽氣速率:4L\s
極限真空:4X10-2Pa
實驗真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
進氣口口徑:KF25
排氣口口徑:KF25
轉速:1450rpm
噪音:50dB

jc@jcno.net

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